品質管理・製造・開発 【材料工学・分析】表面分析の決定版｜基礎から応用、最新技術まで徹底解説！
材料の微細な表面（数原子層～数μm）に着目し、元素組成・化学結合状態・構造を明らかにする「表面分析」の体系的まとめです。EDS/EDXやEPMA、XPS、AES、SIMS、GD-OES、XRFといった多彩な技術を、原理・特性・応用例・検出深さ・感度・空間分解能・元素検出範囲・化学状態分析の可否・破壊性の観点から整理しています。たとえば、XPSは化学状態分析が可能な非破壊手法で表面数nmの情報を得られ、SIMSは高感度・破壊分析ながら全元素を検出できます。また、半導体や自動車、医療、エネルギー分野など多様な産業分野で活用されていること、さらに今後は装置の複合化、AIによる解析手法の進歩、リアルタイム測定や量子センシングといった革新的技術への展開も期待される点が強調されています。
